实用新型已授权

电解蚀刻电极装置

📄 申请号：CN202023133786.4 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2020-12-23

公开号

CN215404634U

公开日

2022-01-04

申请人

苏州普汇达电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C25F7_00

IPC 分类号

C25F7_00 , C25F3_02 ,

技术画像

所属领域

电化学加工电化学加工电解蚀刻技术电极结构设计

应用场景

金属蚀刻, 精密加工, 表面处理, 模具制造, 半导体制造

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摘要

本实用新型公开了电解蚀刻电极装置，包括电极箱和位移电机，所述电极箱前侧外壁靠近中端处设有齿槽，所述电极箱前侧内壁设有前置滑动槽，所述电极箱后侧内壁设有后置滑动槽，所述电极箱前端通过前置滑动槽滑动连接前置支撑架，所述电极箱后端通过后置滑动槽滑动连接后置支撑架，所述位移电机底部外壁传动连接转轴，所述转轴底段外壁一周固定连接齿轮，所述齿轮由电极箱前侧啮合连接齿槽，涉及蚀刻机装置技术领域，该种电解蚀刻电极装置，通过结构运行带动电极区域装置跟随被加工板移动缓解了蚀刻加工时工件两端加工效果不均匀的问题，通过内部结构运作达成电极区域位置调整提升了调整电极装置相对高度时的便捷性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电解蚀刻被加工板的上电装置

当前第 / 件

一种蚀刻机台

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