实用新型 已授权

一种具有微调结构的气体流量控制器

📄 申请号:CN202322769373.2 📄 发布日:2026/09/20

著录项目信息

申请日
2023-10-16
公开号
CN221034047U
公开日
2024-05-28
申请人
沈阳东固真空设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体制造, 工业自动化, 医疗设备, 实验室分析, 环保监测

摘要

本实用新型适用于气体流量控制器技术领域,提供了一种具有微调结构的气体流量控制器,包括竖向设置且两端均封口的装置主管。该具有微调结构的气体流量控制器,通过设置齿柱和外齿环,该装置在使用期间需要进行调节时,可转动螺纹杆来带动活动柱在装置主管的内部移动,螺纹杆转动的过程中就在螺纹套的作用下进行竖直移动,活动柱也就同步运动,而活动柱表面开设的流通孔与两个流通管之间的连通截面就会变化,以此就能够调节气体的流量,而在需要进行微调时,转动拨动片就能够带动齿柱转动,从而带动外齿环转动,由于齿柱的外径远小于外齿环的外径,以此就形成了微调结构,使得该装置能够进行气体流量的微小调节,从而提高了该装置的实用性。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN221034047U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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