实用新型已授权

一种具有微调结构的气体流量控制器

📄 申请号：CN202322769373.2 📄 发布日：2026/05/22

著录项目信息

申请日

2023-10-16

公开号

CN221034047U

公开日

2024-05-28

申请人

沈阳东固真空设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K3_34

IPC 分类号

F16K3_34 , F16K3_26 , F16K27_04 , F16K31_53 ,

技术画像

所属领域

气体流量控制气体流量控制微调机构流量调节阀

应用场景

半导体制造, 工业自动化, 医疗设备, 实验室分析, 环保监测

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摘要

本实用新型适用于气体流量控制器技术领域，提供了一种具有微调结构的气体流量控制器，包括竖向设置且两端均封口的装置主管。该具有微调结构的气体流量控制器，通过设置齿柱和外齿环，该装置在使用期间需要进行调节时，可转动螺纹杆来带动活动柱在装置主管的内部移动，螺纹杆转动的过程中就在螺纹套的作用下进行竖直移动，活动柱也就同步运动，而活动柱表面开设的流通孔与两个流通管之间的连通截面就会变化，以此就能够调节气体的流量，而在需要进行微调时，转动拨动片就能够带动齿柱转动，从而带动外齿环转动，由于齿柱的外径远小于外齿环的外径，以此就形成了微调结构，使得该装置能够进行气体流量的微小调节，从而提高了该装置的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种智能控制气体流量的流量控制器

当前第 / 件

一种气体流量控制阀

同领域国内专利 · IPC: (F16K3_34)

F16K3_00 F16K3_02 F16K3_03 F16K3_04 F16K3_06 F16K3_08 F16K3_10 F16K3_12 F16K3_16 F16K3_18 F16K3_20 F16K3_22 F16K3_24 F16K3_26 F16K3_28 F16K3_30 F16K3_314 F16K3_32 F16K3_34 F16K3_36 F16K31_00 F16K31_02 F16K31_04 F16K31_05 F16K31_06 F16K31_08 F16K31_11 F16K31_12 F16K31_122 F16K31_126 F16K31_14 F16K31_145 F16K31_16 F16K31_163 F16K31_165 F16K31_18 F16K31_20 F16K31_22 F16K31_363 F16K31_42 F16K31_44 F16K31_46 F16K31_50 F16K31_52 F16K31_53 F16K31_54 F16K31_60 F16K31_62 F16K31_64 F16K35_00 F16K35_02 F16K35_06 F16K35_10 F16K35_16 F16K37_00 F16K39_02 覆盖56个领域

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