发明专利已授权

制备高纯度α-氮化硅粉的方法及高纯度α-氮化硅粉

📄 申请号：CN202010282836.0 📄 发布日：2026/05/14

著录项目信息

申请日

2020-04-08

公开号

CN113493191B

公开日

2022-11-22

申请人

合肥万友企汇科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B21_068

IPC 分类号

C01B21_068

技术画像

所属领域

氮化硅粉体材料氮化硅粉体材料先进陶瓷材料粉体合成技术

应用场景

结构陶瓷, 高温结构部件, 半导体设备部件, 切削工具, 耐磨材料

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摘要

本发明提供一种制备高纯度α‑氮化硅粉的方法及高纯度α‑氮化硅粉，所述方法包括：在粒径为100微米以下级别的细硅粉中加入催化剂，所述催化剂能在制备氮化硅粉的反应条件下以可逆反应生成金属合化物，并使得具有金属卤化物存在；将加入了催化剂的细硅粉置于氮化炉中，在氮气和氩气的混合气氛下，于温度为1050℃‑1400℃的条件下保温50‑180小时，以发生氮化反应得到氮化硅粉。本发明所述的方法，通过以可逆反应形成可挥发金属卤化物的催化剂在粉末颗粒表面间往返输运，在多个位点反复起催化作用，以较少金属杂质充分催化表面反应的特殊效果，保障了产品的纯度，并提高了产物的α相含量，满足了高纯氮化硅粉的要求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水仓清淤机

当前第 / 件

一种光伏绝缘件压制成型模具和粉末成型机

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