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发明专利
已授权
一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法
📄 申请号:CN202210627403.3
📄 发布日:2026/05/09
著录项目信息
申请日
2022-06-05
公开号
CN115014584A
公开日
2022-09-06
申请人
江苏师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01L1_00
IPC 分类号
G01L1_00
,
B82Y15_00
,
B82Y40_00
,
技术画像
所属领域
触觉传感技术
触觉传感技术
柔性电子技术
仿生皮肤
应用场景
机器人触觉感知, 医疗康复假肢, 可穿戴健康监测, 人机交互界面, 智能皮肤
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摘要
本发明公开了一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法,该系统从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、氧化锌纳米线层、缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜;制备时先对柔性衬底的表面进行氢等离子体处理,在等离子体处理后的柔性基底上形成底电极薄膜,并采用激光焊接方式在该底电极薄膜上固定连接氧化锌纳米线层,最后,在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接。本发明的皮肤触觉仿生系统能够具有优异的循环保持性和抗疲劳性;同时,其制备方法能够在界面处预置缺陷层,降低了底电极与纳米线的接触势垒。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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