发明专利已授权

键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法

📄 申请号：CN202211654472.X 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-12-22

公开号

CN115821397A

公开日

2023-03-21

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B33_06

IPC 分类号

C30B33_06 , C30B29_02 , H01L21_60 ,

技术画像

所属领域

金属单晶材料金属单晶材料扩散键合技术原子级制造

应用场景

半导体封装, 电子器件互连, 功率器件, 精密制造, 微机电系统

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摘要

本发明公开了键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法。对比了不同压力、升温速率以及保温时间对块体铜单晶之间扩散键合效果的影响。通过对焊缝处进行EBSD表征发现：将待焊面表面粗糙度降低至150nm以下，在小于20MPa的压力下在550～650℃下保温0.5～2h后可实现无再结晶的大块铜单晶样品有效焊合。通过TEM高分辨分析进一步证实了大块铜单晶之间首次实现了原子级的扩散键合。本发明操作方法简单、节能环保、可进行批量压焊处理，从而得到无明显焊缝原子级键合态铜单晶体。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

用于飞行器的单自由度机翼姿态变换并联机构

当前第 / 件

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