发明专利 已授权

一种双偏振多模式的层间波导耦合器

📄 申请号:CN202310622143.5 📄 发布日:2026/09/09

著录项目信息

申请日
2023-05-30
公开号
CN116540360B
公开日
2025-12-19
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

光通信, 数据中心, 光互连, 集成光电子, 通信网络

摘要

本发明提供了一种双偏振多模式的层间波导耦合器,属于光电子器件与集成技术领域,其包括:下波导层、包层和上波导层;其中,所述下波导层和上波导层都由1×2多模干涉仪型波导构成;其中,1×2多模干涉仪型波导由一个输入波导、一个锥型波导、一个宽多模干涉波导、两个输出波导依次连接构成;其中,两个输出波导的宽度由宽变窄,且由亚波长光栅结构构成;上波导层在下波导层的竖直方向的上方,且互不接触,中间由包层相互隔离。本发明技术方案的层间波导耦合器可以实现双偏振多种模式的层间耦合功能,同时具有尺寸小、耦合效率高、工作带宽大、工艺容差大等优点,有望提升片上三维光学芯片互连和开关的传输容量。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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