摘要
本发明提供了一种具有低寄生位移的复合压电驱动三自由度柔顺微夹持器,包括基座、竖直型桥式机构、水平型桥式机构、平行四边形机构和杠杆式机构;基座上设有第一钳指和第二钳指;杠杆式机构在竖直型桥式机构的带动下驱动第一钳指沿X轴方向移动;平行四边形机构与竖直型桥式机构连接,平行四边形机构用于带动第一钳指沿X轴方向移动;水平型桥式机构在第二压电陶瓷驱动件的驱动下带动第二钳指沿Y轴方向移动,水平型桥式机构通过第三压电陶瓷驱动件与第二钳指连接,第三压电陶瓷驱动件用于带动第二钳指沿Z轴方向移动。通过本申请,不仅结构更为简单,同时运动位移量更大,且具备更多自由度,便于推广至更多应用领域。