发明专利已授权

MEMS气体传感器及其制作方法

📄 申请号：CN202410840478.9 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2024-06-27

公开号

CN118392945B

公开日

2024-10-22

申请人

泉州信息工程学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_12

IPC 分类号

G01N27_12 , B81C1_00 , B81B7_02 ,

技术画像

所属领域

MEMS器件 MEMS器件气体传感器微电子机械系统

应用场景

环境监测, 工业安全, 智能家居, 医疗健康, 汽车电子

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摘要

本申请提供了一种MEMS气体传感器，MEMS气体传感器包括硅衬底、支撑层、加热元件、隔离层、测试元件和气敏元件，硅衬底包括正面、以及背离正面的背面，正面设有隔热腔，背面设有聚热腔，隔热腔和聚热腔连通，硅衬底还包括隔热腔相对设置的第一腔壁和第二腔壁；支撑层连接于第一腔壁和第二腔壁之间并位于隔热腔，且支撑层将隔热腔和聚热腔隔离；加热元件设置于支撑层并位于隔热腔内；隔离层覆盖于支撑层并覆盖加热元件；测试元件设置于隔离层背离加热元件的一面；气敏元件设置于测试元件背离隔离层的一面。此外，本申请还提供了一种MEMS气体传感器的制作方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于无线传感网络的建筑监测数据采集方法和系统

当前第 / 件

建筑预埋无线传感器节点阵列的同步群读方法、装置及系统

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_12)

G01N27_00 G01N27_02 G01N27_04 G01N27_06 G01N27_07 G01N27_08 G01N27_10 G01N27_12 G01N27_18 G01N27_22 G01N27_24 G01N27_26 G01N27_27 G01N27_28 G01N27_30 G01N27_31 G01N27_32 G01N27_327 G01N27_333 G01N27_36 G01N27_38 G01N27_403 G01N27_406 G01N27_407 G01N27_409 G01N27_414 G01N27_416 G01N27_42 G01N27_44 G01N27_447 G01N27_453 G01N27_48 G01N27_49 G01N27_60 G01N27_61 G01N27_62 G01N27_626 G01N27_64 G01N27_66 G01N27_72 G01N27_74 G01N27_80 G01N27_82 G01N27_83 G01N27_84 G01N27_85 G01N27_90 G01N27_9013 G01N27_904 G01N27_9093 G01N27_92 覆盖51个领域

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