发明专利已授权

一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法

Name: 一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法
Brand: 华侨大学
SKU: 202210853059X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210853059.X 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2022-07-20

公开号

CN115229647B

公开日

2023-08-29

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B27_033 , B24B19_22 , B24B51_00 , B24B49_00 , B24B1_00 , B23K26_362 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

精密加工, 半导体制造, 光学元件加工, 金刚石刀具制造, 超硬材料表面处理

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摘要

本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种软硬复合结构减薄砂轮的制备方法

当前第 / 件

一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法

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