实用新型已授权

半导体清洗机

📄 申请号：CN202220880681.5 📄 发布日：2026/04/30

著录项目信息

申请日

2022-04-15

公开号

CN218049245U

公开日

2022-12-16

申请人

尚雅派斯科技(无锡)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B3_14 , F26B21_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备半导体清洗技术微电子制造工艺

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 芯片制造, 晶圆清洗

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摘要

本实用新型涉及半导体清洗技术领域，特别是涉及半导体清洗机，包括清洗台和回型网架，回型网架设于清洗台上方，清洗台内下端开有清洁室，清洗台上端右侧固定有水泵，水泵左端连通有穿插进清洁室内的抽液管，水泵上端连通有导液管，导液管左侧设有位于回型网架上方的清洗组件，回型网架内侧设有装夹组件，回型网架左侧设有旋转组件；通过将半导体上下端装夹在上凹槽网板及下凹槽网板之间，然后通过回型网架带动半导体旋转，同时通过清洁喷头往半导体上喷洒清洁剂，且使清洁喷头左右来回并对旋转的半导体进行冲洗，减少了对半导体清洗时的盲区，提升了对半导体的清洗全面性，保证了对半导体的清洗效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种气体柜

当前第 / 件

一种半导体缝合机

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：83 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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