实用新型已授权

一种方便检修的半导体阀门过滤器

📄 申请号：CN202221712519.9 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2022-07-05

公开号

CN217746112U

公开日

2022-11-08

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D35_04

IPC 分类号

B01D35_04

技术画像

所属领域

阀门过滤半导体设备过滤装置阀门组件过滤器阀门过滤

应用场景

半导体制造, 集成电路工艺, 高纯化学品输送, 气体管路过滤, 流体控制系统

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摘要

本实用新型提供一种方便检修的半导体阀门过滤器，包括过滤器本体、安装块、第一限位块、第二限位块、滚轮、活动杆、支撑架、复位弹簧、活动块、内螺纹孔以及外螺纹，过滤器本体环面固定有安装块，安装块左右两端面设置有便于拆卸检修机构，支撑架固定在安装块左右两端面，支撑架贯穿设置有活动杆，活动杆首端面焊接有活动块，活动杆开设有外螺纹，支撑架内部开设有内螺纹孔，活动杆环面固定有复位弹簧，活动杆尾端面设置有滚轮，第一限位块焊接在过滤器本体环面上端面，第二限位块焊接在过滤器本体环面上端面，该设计对于半导体阀门过滤器的拆卸过程简单，减少工作人员的工作时间与强度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有防回流管的半导体阀门

当前第 / 件

一种带有延展保护结构的木制品托架

同领域国内专利 · IPC: (B01D35_04)

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