发明专利已授权

一种磁悬浮式载物台及其控制方法

Name: 一种磁悬浮式载物台及其控制方法
Brand: 南通大学技术转移中心有限公司
SKU: 2019112799751
Availability: InStock

📄 申请号：CN201911279975.1 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2019-12-13

公开号

CN110941081B

公开日

2021-07-30

申请人

南通大学技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B21_24

IPC 分类号

G02B21_24 , G02B21_26 , H02N15_00 ,

技术画像

所属领域

控制方法磁悬浮技术精密运动控制定位平台控制方法

应用场景

半导体制造, 精密测量, 显微镜载物, 光刻设备, 精密加工

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摘要

本发明提供了一种磁悬浮式载物台及其控制方法，其技术方案为：包括相互垂直设置的两传动部分、相互垂直设置的两从动部分、悬浮部分以及电路控制部分；控制方法包括以下步骤：步骤S1：四个空芯线圈由控制器分别控制，控制器会控制单个或多个空芯线圈发生电流变化，使载物台的某一端升高或下降，载物台保持平衡；步骤S2：载物台的前后移动，改变磁场大小，使斥力增大或者减小；步骤S3：逆时针旋转旋柱，旋柱带动螺纹管A旋转，螺纹管A做顺时针旋转并向左移动；步骤S4：顺时针旋转旋柱，旋柱带动螺纹管A旋转，螺纹管A做逆时针旋转并向右移动。本发明的有益效果为：本发明的磁悬浮式载物台，运动平稳，精度高。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230901

?? 专利权的转移：

20230207

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20210730

✅ 授权

20200424

?? 实质审查的生效：

20200331

📄 公开

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