发明专利已授权

一种半导体材料生产技术设备

📄 申请号：CN201810196333.4 📄 发布日：2026/03/30

著录项目信息

申请日

2018-03-09

公开号

CN108436680A

公开日

2018-08-24

申请人

宁海逐航工业产品设计有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B19_22

IPC 分类号

B24B19_22 , B24B41_06 , B24B47_04 , B24B47_12 , B24B47_20 ,

技术画像

所属领域

半导体材料半导体材料半导体制造设备材料制备工艺

应用场景

集成电路制造, 半导体器件生产, 芯片制造, 电子元器件

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摘要

本发明公开了一种半导体材料生产技术设备，包括基座、固定设置于所述基座左侧上方的支架以及固定设置于所述支架右侧端面上方且向右延伸设置的横架，所述基座顶部端面内设有横向延伸设置的第一滑动槽，所述第一滑动槽中左右设置设置有第一滑动块，所述第一滑动块中螺纹配合连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆左侧端可转动的设置于所述第一滑动槽左侧内壁中且右侧端贯穿所述基座右侧端面外，所述第一滑动块顶部端面固定设有安装块，所述安装块中设有夹持组件。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230307

?? 专利权的转移：

20210618

?? 专利权的转移：

20181221

✅ 授权

20181012

?? 实质审查的生效：

20180824

📄 公开

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