实用新型 已授权

一种PVD粉料分离装置

📄 申请号:CN202121117482.0 📄 发布日:2026/07/27

著录项目信息

申请日
2021-05-24
公开号
CN215198074U
公开日
2021-12-17
申请人
深圳方华材料科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 工具涂层, 表面处理

摘要

本实用新型公开了一种PVD粉料分离装置,包括底板、第一箱体、第二箱体、筒体、筒盖、第一箱门和第二箱门,通过设置启动第二电机筒体进行高速旋转,在旋转中粉料通过筒体筒壁上的网孔掉落至第二箱体内侧底部,从而完成对粉料内的杂质进行初次分离筛选,进而通过启动第一电机带动第一箱体水平左右移动,从而使粉料通过过滤网板进行再次过滤,从而完成对粉料进行双重分离筛选,分离筛选效果好,便于人员对收集的粉料进行再次使用,通过设置第一箱门和第二箱门,以及旋转横板上的螺栓,将横板与筒体分离,再通过打开筒盖,从而将筒体从第二箱体内取出,便于人员对从粉料中分离出的杂质进行清理,提高了装置的便利性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:33 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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