发明专利 已授权

一种洁净室车间AMC气体采样装置

📄 申请号:CN202310988748.6 📄 发布日:2026/07/21

著录项目信息

申请日
2023-08-07
公开号
CN116878964A
公开日
2023-10-13
申请人
上海艺旻科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体洁净室, 电子厂房, 制药车间, 精密制造车间, 科研实验室

摘要

本发明公开了一种洁净室车间AMC气体采样装置,包括引导轨道,所述引导轨道的一侧滑动卡合安装有轨道小车,所述轨道小车的一侧安装有气体分析仪器;所述抽气采样机构设于所述气体分析仪器的顶端一侧。该洁净室车间AMC气体采样装置,该洁净室车间AMC气体采样装置在使用时,通过引导轨道和轨道小车的安装配合,使得顶端的抽气采样机构能够在车间任意区域进行自动移动,同时通过抽气采样机构内部结构的配合运行,从而使得抽气采样机构到达指定位置后,能够自动控制轨道小车停止,同时控制一侧的抽气泵启动开始进行抽气取样,从而使得本装置能够在较大的车间区域内部进行自动多点取样检测,整体操作较为方便,提高整体的采样效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:44 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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