实用新型已授权

掩模版泡酸去胶后的专用夹具

📄 申请号：CN202021071906.X 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-06-11

公开号

CN212623574U

公开日

2021-02-26

申请人

无锡灿晶微电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_38

IPC 分类号

G03F7_38

技术画像

所属领域

专用夹具半导体制造设备掩模版处理夹具设计专用夹具

应用场景

半导体制造, 光刻工艺, 掩模版清洗

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摘要

本实用新型公开了掩模版泡酸去胶后的专用夹具，涉及电柜进出线保护用辅助装置技术领域，为解决现有的掩模版泡酸去胶后的专用夹具在对掩膜版进行固定时不够牢固而导致掩膜版脱落的问题。所述固定底座的内部设置有限位横块活动槽，所述限位横块活动槽的内部设置有限位横块，且限位横块的下端与限位横块活动槽通过缓冲弹簧固定连接，所述缓冲弹簧设置有两个，所述限位横块的上端设置有支撑柱，两个所述支撑柱的中间位置处设置有引接块，所述引接块的下方设置有酸性液存储箱，所述酸性液存储箱的一侧设置有把手，且把手与酸性液存储箱焊接连接。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种精密苏打玻璃切割装置

当前第 / 件

一种精密石英玻璃用氮气风干装置

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G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

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