实用新型已授权

一种SVG显影喷淋装置

📄 申请号：CN202221928732.3 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-07-22

公开号

CN218223026U

公开日

2023-01-06

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B05B13_02

IPC 分类号

B05B13_02 , G03F7_30 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻工艺喷淋装置

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光刻显影, 集成电路生产

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摘要

本实用新型公开了一种SVG显影喷淋装置，其包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。本实用新型所述的SVG显影喷淋装置，通过第二旋转驱动装置进行竖直转盘的旋转驱动，自动进行显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，并能避免相互影响。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体器件自清洁压装设备

当前第 / 件

一种数显不锈钢均匀电热板

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