发明专利已授权

一种新型真空微电子压力传感器

📄 申请号：CN201710726920.5 📄 发布日：2026/02/03

著录项目信息

申请日

2017-08-23

公开号

CN107588871A

公开日

2018-01-16

申请人

安徽工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_16

IPC 分类号

G01L1_16 , G01L9_08 ,

技术画像

所属领域

压力传感器压力传感器微电子机械系统真空微电子器件

应用场景

工业自动化, 汽车电子, 航空航天, 真空设备, 医疗设备

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摘要

本发明公开了一种新型真空微电子压力传感器，包括传感器主体，传感器主体包括定位底座和壳体，定位底座表面内部设置有两个联通槽，联通槽内部设置有电极引线，电极引线一端和引线端子连接在一起，电极引线另一端和金线电极连接在一起，金线电极分别和第一硅膜片、第二硅膜片电性连接在一起，第二硅膜片安装在硅杯表面，硅杯表面设置有放射尖端，第一硅膜片、第二硅膜片之间相互对应，定位底座内部设置有进气通道，第一硅膜片表面设置有弹性硅片，进气通道通过分支管将气体排入到弹性硅片表面，壳体顶端设置有传压片，该装置不仅可以检测外部的直接接触压力，而且可以精确的检测气流产生的微小压力，实用性强，值得推广。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20191001

✅ 授权

20180209

?? 实质审查的生效：

20180116

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：156 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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