发明专利 已授权

一种新型真空微电子压力传感器

📄 申请号:CN201710726920.5 📄 发布日:2026/02/03

著录项目信息

申请日
2017-08-23
公开号
CN107588871A
公开日
2018-01-16
申请人
安徽工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 汽车电子, 航空航天, 真空设备, 医疗设备

摘要

本发明公开了一种新型真空微电子压力传感器,包括传感器主体,传感器主体包括定位底座和壳体,定位底座表面内部设置有两个联通槽,联通槽内部设置有电极引线,电极引线一端和引线端子连接在一起,电极引线另一端和金线电极连接在一起,金线电极分别和第一硅膜片、第二硅膜片电性连接在一起,第二硅膜片安装在硅杯表面,硅杯表面设置有放射尖端,第一硅膜片、第二硅膜片之间相互对应,定位底座内部设置有进气通道,第一硅膜片表面设置有弹性硅片,进气通道通过分支管将气体排入到弹性硅片表面,壳体顶端设置有传压片,该装置不仅可以检测外部的直接接触压力,而且可以精确的检测气流产生的微小压力,实用性强,值得推广。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN107588871A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20191001
✅ 授权
20180209
?? 实质审查的生效 :
20180116
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:241 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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