实用新型已授权

一种硅芯应力退火工装

📄 申请号：CN202321035273.0 📄 发布日：2026/01/15

著录项目信息

申请日

2023-05-04

公开号

CN219930182U

公开日

2023-10-31

申请人

江阴东升新能源股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C21D9_00

IPC 分类号

C21D9_00 , C21D1_30 ,

技术画像

所属领域

退火工装热处理工装应力退火半导体加工设备退火工装

应用场景

多晶硅生产, 光伏材料制备, 硅芯制造, 硅芯退火处理, 半导体材料热处理

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摘要

本实用新型公开了一种硅芯应力退火工装，包括装置主体，装置主体包括第一工装架、第二工装架和硅芯块，第一工装架和第二工装架均由外框、纵隔板和横隔板组成，纵隔板设有五组，均匀的布置在外框的内部，纵隔板的两侧均安装有多组横隔板，通过纵隔板和横隔板将外框的内部分隔为多组放置槽；通过纵隔板和横隔板形成的多组放置槽便于硅芯块的分别放置，从而可以避免硅芯块彼此之间的摩擦碰撞导致其出现损坏，第一插杆插入到第一插孔内，第二插杆插入到第二插孔内，可以实现对于第一工装架和第二工装架的连接固定，进而保证第一工装架和第二工装架的稳定性，该方式能够将各个硅芯块单独放置，并且每个硅芯块不会受到额外的压力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种塔筒支撑装置

当前第 / 件

一种用在硅芯上加工螺纹的磨削构件

同领域国内专利 · IPC: (C21D9_00)

C21D9_00 C21D9_02 C21D9_04 C21D9_08 C21D9_18 C21D9_22 C21D9_24 C21D9_26 C21D9_28 C21D9_30 C21D9_32 C21D9_34 C21D9_36 C21D9_38 C21D9_40 C21D9_46 C21D9_50 C21D9_52 C21D9_54 C21D9_56 C21D9_573 C21D9_60 C21D9_663 C21D9_68 C21D9_70 覆盖25个领域

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