发明专利已授权

一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

Name: 一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2013105249567
Availability: InStock

📄 申请号：CN201310524956.7 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2013-10-31

公开号

CN103528735B

公开日

2015-11-18

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_24

IPC 分类号

G01L1_24 , G01L11_02 ,

技术画像

所属领域

光纤传感光纤传感法布里-珀罗干涉压力传感器

应用场景

工业过程测量与控制, 医疗压力监测, 航空航天测试, 石油化工压力检测, 汽车传感器

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摘要

本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中，光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行，大大提高了测量精度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN103528735B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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