发明专利已授权

压力传感器及制造方法

📄 申请号：CN201711385415.5 📄 发布日：2025/12/22

著录项目信息

申请日

2017-12-20

公开号

CN108168743B

公开日

2024-08-27

申请人

南京方旭智芯微电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_22

IPC 分类号

G01L1_22 , G01L9_04 ,

技术画像

所属领域

压力传感器传感器技术微机电系统传感器制造工艺压力传感器

应用场景

工业自动化, 汽车电子, 医疗器械, 消费电子, 环境监测

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摘要

本发明实施例提供的压力传感器及制造方法包括衬底、所述衬底的表面开设有四个闭环沟槽，所述四个闭环沟槽中的每个闭环沟槽均设置有P型半导体以及阻隔层，所述阻隔层围绕所述P型半导体设置，以通过所述阻隔层阻止所述P型半导体的横向扩散。通过在P型半导体材料的周围设置阻隔层的方式可以有效阻止P型半导体的横向扩散，从而使得本发明实施例提供的压力传感器可以在保持PN结结深较深的同时没有较多的横向扩散，实现PN结结深较深的同时，器件面积也较小。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种沥青生产用具有自清洗功能的生产罐

当前第 / 件

一种扩香机

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_22)

G01L1_00 G01L1_02 G01L1_04 G01L1_06 G01L1_08 G01L1_10 G01L1_12 G01L1_14 G01L1_16 G01L1_18 G01L1_20 G01L1_22 G01L1_24 G01L1_25 G01L1_26 G01L11_00 G01L11_02 G01L13_00 G01L13_06 G01L15_00 G01L17_00 G01L19_00 G01L19_02 G01L19_04 G01L19_06 G01L19_08 G01L19_10 G01L19_12 G01L19_14 G01L19_16 覆盖30个领域

¥9500.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：131 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

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