实用新型已授权

一种光刻胶涂布机构

📄 申请号：CN202322386504.9 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2023-09-04

公开号

CN220872872U

公开日

2024-04-30

申请人

住晶新材料科技(烟台)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_16

IPC 分类号

G03F7_16

技术画像

所属领域

涂布机构半导体制造设备光刻工艺涂布技术光刻胶涂布机构

应用场景

半导体制造, 集成电路光刻, 晶圆涂胶, 平板显示制造, 印刷线路板制造

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摘要

本实用新型公开了一种光刻胶涂布机构，涉及光刻胶涂布设备技术领域，包括离心机构和回收机构，所述离心机构包括转轴、涂布平台和玻璃基板，所述转轴的上端固定连接有涂布平台，涂布平台的上表面设有相匹配的玻璃基板，所述涂布平台上连接有回收机构，回收机构包括套筒、连通管、筒盖、注入管、环形箱和排料管，涂布平台的侧面固定连接有套筒，本实用新型通过离心机构和回收机构的配合使用，在光刻胶涂布离心涂布过程中，不仅能够收集多余的光刻胶，而且能够将收集到的光刻胶单独存放于环形箱，无需每次光刻胶离心涂布后就需放，使其能够连续进行离心涂布，不仅使用起来比较方便，也提高了光刻胶涂布的效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便携式气动水泵

当前第 / 件

一种药材智能控温烘干系统

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_16)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：162 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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