实用新型已授权

一种光刻胶用除泡装置

📄 申请号：CN202321607425.X 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2023-06-25

公开号

CN220159288U

公开日

2023-12-12

申请人

住晶新材料科技(烟台)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D19_00

IPC 分类号

B01D19_00 , G03F7_16 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻胶材料气泡去除技术

应用场景

半导体制造, 集成电路光刻, 光刻胶涂布, 光刻工艺设备

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摘要

本实用新型公开了一种光刻胶用除泡装置，涉及光刻胶加工技术领域。本实用新型包括底座，底座上表面固定有若干伸缩杆，伸缩杆外侧套接有拉簧；伸缩杆一端固定有放置板，放置板上表面开有放置槽；底座上表面固定有电机，电机输出轴固定有传动杆；放置板两侧均开有调节槽，调节槽内部滑动连接有调节块，调节块一侧固定有限位板；底座一侧固定有若干定位条，两定位条之间固定有连接杆；连接杆两端均固定有弹簧。本实用新型通过放置板的作用，放置板则不断的上下活动，带动除泡瓶产生震动，将除泡瓶中的气泡震出，以此达到除泡的目的，同时可以通过调节电机的转速来调节放置板的活动频率，以此便于工作人员根据情况调节放置板的振幅。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种智能化噪音治理装置

当前第 / 件

一种具备浮渣收集功能的气浮装置

同领域国内专利 · IPC: (B01D19_00)

B01D19_00 B01D19_02 B01D19_04 覆盖3个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：161 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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