实用新型 已授权

一种水冷真空插板阀

📄 申请号:CN202321849948.5 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2023-07-13
公开号
CN220581717U
公开日
2024-03-12
申请人
上海飞帆智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空镀膜设备, 半导体制造设备, 真空炉, 光伏设备, 科研真空装置

摘要

本实用新型提供一种水冷真空插板阀,涉及插板阀技术领域,包括插板阀本体,所述插板阀本体包括阀体,所述阀体外部两侧均设有锁紧机构,所述锁紧机构包括固定板和一对固定块,所述固定板内部开设有安装腔,且所述固定板一侧开设有移动槽,其中一个所述固定块一侧固定安装有安装套,且其中一个所述固定块与阀体外部一侧固定连接,其中另一个所述固定块与连接板外部一侧固定连接,所述安装套内部固定安装有橡胶圈,其中另一个所述固定块一侧固定安装有从动齿条,所述橡胶圈与所述从动齿条相互匹配。该实用新型,能有效提高插板阀实用性,同时提高阀体与气缸连接处的紧固性,具有较高的实用价值。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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