发明专利已授权

一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备

📄 申请号：CN201810959874.8 📄 发布日：2026/04/16

著录项目信息

申请日

2018-08-21

公开号

CN109130496B

公开日

2023-12-01

申请人

嘉兴大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B41J2_01

IPC 分类号

B41J2_01 , B41M5_00 , H01L21_768 ,

技术画像

所属领域

柔性电子柔性电子互连结构微纳制造

应用场景

柔性电子, 可穿戴设备, 柔性显示, 智能传感器

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摘要

本发明公开了一种制备柔性可延展多级结构互连线的方法及设备，包括机架，机架上设有承载平台；喷印模块，喷印模块通过水平横梁设置在承载平台上方，且其设有用于喷印的喷印机构，用于将喷印溶液喷印到基板上形成喷印图案；喷印平台机构，其可X向以及Y向运动设置在承载平台上；拉伸平台，设置在所述喷印平台机构上，其包括呈矩形分布的四个滑轨，在滑轨内设置若干与滑轨构成滑移配合的气缸，四个滑轨中心设置柔性可延展性基板，每个拉杆采用独立气缸进行控制，利用拉杆伸长以及气缸滑移来实现对柔性可延展性基板不同形状的变形并进行固定，从而实现在柔性可延展性基板上制备柔性电子的可延展性多级结构互连线。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电流体动力学均匀性喷印图案的工艺参数优化方法

当前第 / 件

一种非流行网格模型切片处理方法

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