实用新型已授权

一种真空腔体泄漏检测装置

📄 申请号：CN202520271980.2 📄 发布日：2026/07/07

著录项目信息

申请日

2025-02-20

公开号

CN223783836U

公开日

2026-01-09

申请人

晶格(苏州)真空技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01M3_26

IPC 分类号

G01M3_26

技术画像

所属领域

检测装置泄漏检测技术真空检漏气密性检测检测装置

应用场景

真空设备维护, 半导体制造, 光伏制造, 科研实验, 真空镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种真空腔体泄漏检测装置，涉及真空产品检漏技术领域，该真空腔体泄漏检测装置包括第一密封箱和第二密封箱，所述第二密封箱位于所述第一密封箱的内部，所述第一密封箱的后端合页连接有密封门，所述第二密封箱内底部的两侧安装有丝杆，所述丝杆的外壁螺纹安装有升降板，所述升降板的顶部设置有凹槽，所述凹槽的内部安装有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆外壁的两侧对称安装有滑块，所述滑块的顶部安装有夹持板，所述第二密封箱的顶部设置有开口，本方案解决了现有的真空腔体泄漏检测设备不便于使用，往往使用真空检漏仪与产品直接连接来进行检查，这种方法费时费力，耗时比较长，对于检测环境要求较高的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体真空腔漏气监测装置

当前第 / 件

一种超高真空法兰密封型组件

同领域国内专利 · IPC: (G01M3_26)

G01M3_00 G01M3_02 G01M3_04 G01M3_06 G01M3_08 G01M3_10 G01M3_12 G01M3_14 G01M3_16 G01M3_18 G01M3_20 G01M3_22 G01M3_24 G01M3_26 G01M3_28 G01M3_32 G01M3_34 G01M3_36 G01M3_38 G01M3_40 覆盖20个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：20 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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