实用新型已授权

一种半导体真空腔漏气监测装置

Name: 一种半导体真空腔漏气监测装置
Brand: 晶格(苏州)真空技术有限公司
SKU: 2025202719821
Availability: InStock

📄 申请号：CN202520271982.1 📄 发布日：2026/03/05

著录项目信息

申请日

2025-02-20

公开号

CN223783833U

公开日

2026-01-09

申请人

晶格(苏州)真空技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01M3_24

IPC 分类号

G01M3_24 , F17D5_00 , F17D5_06 ,

技术画像

所属领域

监测装置真空检测漏气监测半导体制造设备监测装置

应用场景

半导体制造, 真空设备维护, 气体泄漏检测, 工艺气体监测, 半导体设备安全监控

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摘要

本实用新型公开了一种半导体真空腔漏气监测装置，涉及半导体技术领域，该真空腔漏气监测装置，包括真空腔体和工艺腔体，所述真空腔体位于工艺腔体的一侧，所述真空腔体的底部安装有真空泵；还包括：第一输送管，其安装在真空腔体靠近工艺腔体的一侧，所述工艺腔体靠近真空腔体的一侧设置有第二输送管，固定套板对两个连接法兰进行连接固定，同时在固定套板的内壁设置超声波模块，利用气体流动产生的超声波信号进行监测，能够准确的捕捉到漏气的信号，并且在固定套板的外侧设置指示灯，当某一处产生泄漏时，超声波模块会使对应位置的指示灯闪烁，使得工作人员在进行维修检查的时候能够快速的找到漏气点进行维修。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN223783833U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置

当前第 / 件

一种真空腔体泄漏检测装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：158 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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