实用新型已授权

一种便于更换的检漏仪离子源

📄 申请号：CN202320224983.1 📄 发布日：2026/04/24

著录项目信息

申请日

2023-02-16

公开号

CN219144121U

公开日

2023-06-06

申请人

上海熠阳实业有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01J49_10

IPC 分类号

H01J49_10 , G01M3_20 ,

技术画像

所属领域

离子源离子源质谱分析真空检漏

应用场景

工业气体泄漏检测, 真空设备检漏, 半导体制造设备维护, 实验室质谱分析, 管道密封性测试

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摘要

本实用新型属于检漏仪技术领域，且公开了一种便于更换的检漏仪离子源，包括检漏仪本体，所述检漏仪本体的左侧开设有插口，所述插口的内部放置有离子源本体，所述离子源本体的右侧活动安装有第一卡块，所述第一卡块的右侧固定连接有密封板，所述第一卡块前后两端的外侧均开设有引导槽。本实用新型通过第二卡块、第一卡槽和顶出结构等结构的配合，继而使得顶出结构失去约束，从而将旧的离子源本体顶出，从而方便快速取出离子源本体，然后当进行安装的时候，则将顶出结构顶回原来的位置，同时引导槽会将第二卡块的下端顶起，从而方便进行闭合，同时使得第二卡块插进第一卡槽中，从而完成了离子源本体的取出和放置。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种分子泵固定维修设备

当前第 / 件

分子泵冷却结构

同领域国内专利 · IPC: (H01J49_10)

H01J49_02 H01J49_04 H01J49_06 H01J49_10 H01J49_14 H01J49_16 H01J49_24 H01J49_26 H01J49_40 覆盖9个领域

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