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专利详情
实用新型
已授权
一种超高真空法兰密封型组件
📄 申请号:CN202520163229.0
📄 发布日:2026/01/16
著录项目信息
申请日
2025-01-24
公开号
CN223782314U
公开日
2026-01-09
申请人
晶格(苏州)真空技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16L23_22
IPC 分类号
F16L23_22
技术画像
所属领域
真空密封技术
真空密封技术
法兰连接结构
密封组件
应用场景
超高真空设备, 半导体制造, 科学研究装置, 真空镀膜, 粒子加速器
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摘要
本实用新型公开了一种超高真空法兰密封型组件,包括法兰盘一和法兰盘二,所述法兰盘一的一侧固定安装有管道一,所述法兰盘二的一侧固定安装有管道二,所述法兰盘一和法兰盘二之间设置有橡胶圈,所述橡胶圈与法兰盘一和法兰盘二之间的外侧均设置有密封环一,所述密封环一与橡胶圈固定连接,所述橡胶圈的内部设置有液体腔,所述液体腔的内部设置有刚性泡沫材料液体,所述橡胶圈的两侧沿液体腔的外侧固定安装有外侧挡环,所述橡胶圈的两侧沿液体腔的内侧固定安装有内侧挡环。其实现了法兰稳定密封的效果,增加了密封的稳定性,从而避免了传统法兰密封组件在长时间使用过程中,密封材料会出现老化现象,导致密封性能下降的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20260109
✅ 授权
一种真空腔体泄漏检测装置
当前第 / 件
一种构造柱插筋固定结构
同领域国内专利 · IPC: (F16L23_22)
F16L23_00
F16L23_02
F16L23_024
F16L23_032
F16L23_036
F16L23_04
F16L23_08
F16L23_10
F16L23_14
F16L23_16
F16L23_18
F16L23_22
覆盖
12
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
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未申报
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