发明专利 已授权

用于红外图像传感器的新型像素结构及制作方法

📄 申请号:CN202210277241.5 📄 发布日:2026/08/05

著录项目信息

申请日
2022-03-17
公开号
CN114613795B
公开日
2024-09-06
申请人
南京斯尼科智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

红外热成像, 安防监控, 夜视设备, 工业检测, 自动驾驶

摘要

本发明涉及一种用于红外图像传感器的新型像素结构,包括步骤:有源区光刻定位;浅沟道处绝缘隔离槽STI形成;N阱和P阱形成;栅极的形成;浅掺杂漏区LDD形成;栅极侧壁形成;新型像素结构的源区和漏区形成;金属连线和钝化层覆盖。本发明的有益效果是:本发明采用石墨烯作为光敏材料,因为石墨烯中的热电子散射和倍增作用,以及其零带隙的能带结构,石墨烯材质的光敏材料可以发生光电响应,并且能响应非常宽的波长;本发明以低成本,简化的工艺,优化现有红外图像传感器,使硅CMOS图像传感器的响应波长在近红外拓展至更远,并且使响应波长电致可调。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:53 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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