实用新型已授权

一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置

📄 申请号：CN202420014465.1 📄 发布日：2026/03/30

著录项目信息

申请日

2024-01-04

公开号

CN222114731U

公开日

2024-12-06

申请人

江西创科新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B57_02

IPC 分类号

B24B57_02 , B24B37_10 ,

技术画像

所属领域

研磨液供给系统研磨液供给系统研磨抛光加工陶瓷基板精密加工

应用场景

陶瓷基板研磨, 氮化铝基板抛光, 精密磨削加工, 电子封装基板制造, 半导体器件加工

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摘要

本实用新型公开了一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置，属于研磨辅助装置技术领域，包括载盘，所述载盘的下端固定安装有研磨盘，所述载盘的上端成型有凹槽，所述凹槽内两端均固定安装有左载筒和所述右载筒，所述左载筒和所述右载筒呈对称分布，所述左载筒和所述右载筒内均固定安装有泵机。有益效果在于：本实用新型通过载盘、研磨盘、驱动杆、左载筒、右载筒、泵机、输送管、延展管、喷洒座、喷嘴、滑块以及电动滑轨的设计，能够使氮化铝基板在研磨作业中，在研磨盘上搭配有电控的研磨液注入机构，可以替代工作人员在研磨作业中注入研磨液，从而提高研磨作业的工作效率，同时可以完善机械的自动化作业。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种氮化铝基板用抛光设备

当前第 / 件

一种施工隔水板

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