实用新型 已授权

一种氮化铝基板用抛光设备

📄 申请号:CN202420014462.8 📄 发布日:2025/11/27

著录项目信息

申请日
2024-01-04
公开号
CN221967703U
公开日
2024-11-08
申请人
江西创科新材料科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电子元器件制造, 半导体基板加工, 陶瓷基板表面处理, 散热基板制备, 精密表面加工

摘要

本实用新型公开了一种氮化铝基板用抛光设备,属于抛光设备技术领域,包括载座,所述载座的上方设置有驱动电机,所述驱动电机的传动输出端键连接有传动轴,所述载座与所述传动轴的连接处开设有连接槽,所述载座的下端通过卡槽固定安装有抛光垫,所述载座于所述抛光垫的四周均开设有通腔。有益效果在于:本实用新型通过载座、驱动电机、抛光垫、通腔、风机、载架以及滤网的设计,能够使抛光设备采用镂空式载座,在抛光作业中,可以将抛光垫抛光产生的颗粒浮尘进行吸附收集,从而避免向四处逸散飞溅,进而确保周围的空气环境。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:132 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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