研磨液供给系统 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

实用新型已授权

本实用新型公开了一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置，属于研磨辅助装置技术领域，包括载盘，所述载盘的下端固定安装有研磨盘，所述载盘的上端成型有凹槽，所述凹槽内两端均固定安装有左载筒和所述右载筒，所述左载筒和所述右载筒呈对称分布，所述左载筒和所述右载筒内均固定安装有泵机。有益效果在于：本实用新型通过载盘、研磨盘、驱动杆、左载筒、右载筒、泵机、输送管、延展管、喷洒座、喷嘴、滑块以及电动滑轨的设计，能够使氮化铝基板在研磨作业中，在研磨盘上搭配有电控的研磨液注入机构，可以替代工作人员在研磨作业中注入研磨液，从而提高研磨作业的工作效率，同时可以完善机械的自动化作业。

📄 2024200144651 📂 B24B57_02 👤 江西创科新材料科技有限公司 📅 2024-01-04

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一种氮化铝基板加工用研磨液注入装置