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发明专利
已授权
膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法
📄 申请号:CN202311447172.9
📄 发布日:2026/07/20
著录项目信息
申请日
2023-11-02
公开号
CN117470288B
公开日
2024-04-16
申请人
广东海洋大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01D5_353
IPC 分类号
G01D5_353
,
G01D21_02
,
技术画像
所属领域
光纤传感器
光纤传感器
光纤光栅
光学干涉测量
应用场景
光纤传感, 结构健康监测, 工业检测, 油气管道监测, 智能传感网络
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摘要
本发明公开膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法,包括以下步骤:S1,加工圆盘,在圆盘一侧周向固定若干支撑柱,在圆盘上开设若干通孔,对圆盘进行装夹定位;S2,在通孔内均插入准直套管,并对准直套管粘接固定;S3,对固定有准直套管的圆盘置超声清洗,之后取出烘干;S4,加工膜片,对膜片其中一个面打磨抛光,抛光后的膜片光胶在支撑柱,且抛光面与准直套管接触,之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面;S5,设置激光焊接圆形路径的半径,依次将所有的准直套管分别与膜片焊接;S6,在准直套管内壁分别进行固定光纤、光纤上刻写FBG操作;S7,对准直套管进行下盘操作,清洗烘干,完成传感结构的加工。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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