实用新型已授权

一种基于半导体温控的激光方向自动化微动调整装置

📄 申请号：CN202123369290.1 📄 发布日：2025/11/19

著录项目信息

申请日

2021-12-30

公开号

CN217387852U

公开日

2022-09-06

申请人

爱佩仪智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01S3_02

IPC 分类号

H01S3_02 , H01S5_02 , G02B26_08 ,

技术画像

所属领域

半导体温控半导体温控激光方向控制微动调节机构

应用场景

激光通信, 激光加工, 光路校准, 光学精密测量, 半导体制造

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摘要

本实用新型公开的属于激光方向调整装置技术领域，具体为一种基于半导体温控的激光方向自动化微动调整装置，包括微动调整机构，所述微动调整机构设有两组，所述微动调整机构包括齿轮，所述齿轮内壁套接支撑环，所述支撑环内壁固定连接楔形镜，所述齿轮啮合连接齿条，本实用新型的有益效果是：先微调楔形镜的旋转角度将使得激光光束只在左右方向变动，再微调楔形镜的旋转角度将使得激光光束只在上下方向变动，通过检测返回光强检测的光强传感器，控制半导体温控器，使得齿条发生平移，带动齿轮和楔形镜旋转，改变激光偏转方向，就可以通过光强反馈，自动调整激光光束方向对准角锥棱镜中心，完全反射激光光束。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于测量机床空间误差的激光跟踪测量装置

当前第 / 件

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