实用新型 已授权

一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统

📄 申请号:CN202120985160.1 📄 发布日:2025/11/19

著录项目信息

申请日
2021-05-10
公开号
CN214893077U
公开日
2021-11-26
申请人
爱佩仪智能装备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密加工, 半导体制造, 长度计量, 科研实验, 位移测量

摘要

本实用新型公开了一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统,包括装置主体,所述装置主体的侧端设置有激光头,所述装置主体的下端设置有放置平台,所述放置平台的下端设置有转轴,所述转轴的侧端设置有调节旋钮,所述装置主体的下端设置有滑块,所述放置平台的上端设置有滑槽,所述装置主体的侧端设置有支撑块,所述支撑块的上端设置有安装孔,所述安装孔的上端设置有螺栓。本实用新型所述的一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统,结构简单,功能多样,操作方便,使用方便,便于安装与拆卸,增强连接稳定性,便与移动,增强放置稳定性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:129 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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