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专利详情
实用新型
已授权
一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统
📄 申请号:CN202120985160.1
📄 发布日:2025/11/19
著录项目信息
申请日
2021-05-10
公开号
CN214893077U
公开日
2021-11-26
申请人
爱佩仪智能装备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
G01B9_02
IPC 分类号
G01B9_02
技术画像
所属领域
温度补偿
精密测量技术
光学仪器
自动控制系统
温度补偿
应用场景
精密加工, 半导体制造, 长度计量, 科研实验, 位移测量
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摘要
本实用新型公开了一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统,包括装置主体,所述装置主体的侧端设置有激光头,所述装置主体的下端设置有放置平台,所述放置平台的下端设置有转轴,所述转轴的侧端设置有调节旋钮,所述装置主体的下端设置有滑块,所述放置平台的上端设置有滑槽,所述装置主体的侧端设置有支撑块,所述支撑块的上端设置有安装孔,所述安装孔的上端设置有螺栓。本实用新型所述的一种具有温度补偿的激光干涉仪测距系统,结构简单,功能多样,操作方便,使用方便,便于安装与拆卸,增强连接稳定性,便与移动,增强放置稳定性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种新型医用敷料
当前第 / 件
一种iScan扫描仪
同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)
G01B9_02
G01B9_02001
G01B9_02017
G01B9_02055
G01B9_02056
G01B9_02091
G01B9_021
覆盖
7
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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