发明专利已授权

一种用于超声扫描显微镜的去气泡设备

📄 申请号：CN202010251364.2 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2020-04-01

公开号

CN111437630B

公开日

2024-10-18

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B01D19_00

IPC 分类号

B01D19_00 , G01N29_06 ,

技术画像

所属领域

超声扫描显微镜超声扫描显微镜真空脱泡流体除气

应用场景

半导体封装检测, 电子元器件无损检测, 材料分析, 生物医学成像, 工业质量检测

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摘要

本发明涉及一种用于超声扫描显微镜的去气泡设备，包括水槽、检测装置、导轨机构、驱动装置、去气泡装置和控制装置；所述水槽为开口向上的箱体结构；所述检测装置处于所述水槽一侧的外部；所述导轨机构安装在所述水槽开口处一端且对应所述超声换能器远离所述检测装置一侧的位置，所述去气泡装置沿横向、纵向和竖向可滑动的安装在所述导轨机构上，所述驱动装置安装在所述导轨机构上并驱动所述去气泡装置滑动；所述去气泡装置设有滑动后对准超声换能器中的气泡再喷出耦合介质的喷管；所述控制装置分别通过控制线路连接所述驱动装置和所述去气泡装置。该去气泡设备不仅可以实现去除超声换能器下方的气泡，还能对超声换能器进行一定的清洗。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于双目视觉标定板的可调旋转平台

当前第 / 件

一种用于超声扫描显微镜的定位系统和方法

同领域国内专利 · IPC: (B01D19_00)

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