发明专利 已授权

基于PI模型的压电陶瓷执行器参数辨识和复合控制方法

📄 申请号:CN202110088650.6 📄 发布日:2026/09/28

著录项目信息

申请日
2021-01-22
公开号
CN112835295B
公开日
2022-07-19
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密定位, 微纳操控, 半导体制造设备, 光学精密对准, 工业自动化

摘要

本发明提供了基于PI模型的压电陶瓷执行器参数辨识和复合控制方法,依次通过针对压电陶瓷执行器输入电压与输出位移之间多值的映射关系,建立PI迟滞模型;采用优化粒子群方法对PI迟滞模型进行参数辨识,从而建立PI迟滞逆模型;通过PI迟滞逆模型设计前馈控制器,并结合滑模控制的复合控制方法对压电陶瓷执行器进行控制。本发明实现了由压电陶瓷输出‑输入多值映射关系来描述迟滞特性的功能,更好地描述了迟滞特性与压电陶瓷执行器的关系;由前馈控制结合滑模控制的复合控制方法控制压电陶瓷执行器,较好地解决了前馈控制无法实时反馈和滑模面的抖动问题,控制方法简单,控制效果好,有效地抑制了压电陶瓷执行器迟滞非线性特性。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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