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| 专利/申请号： | CN202323232426.3 | 专利名称： | 一种半导体晶圆加工用工装 |
| 申请日： | 2023-11-28 | 申请/专利权人 | 南通迅腾精密设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市开发区常兴东路1号40号厂房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B25B11/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-07-09 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN221291008U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体制造 机械工装设计专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆加工中的定位与固定；提高晶圆加工精度与效率；防止晶圆表面损伤
摘 要：本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用工装，包括底座，底座上设置旋转电机，旋转电机的输出轴上设置安装套，安装套内分别设置电磁铁和磁性座，磁性座的上表面开设半球形的容纳槽，容纳槽内设置磁性的球形体，容纳槽对球形体进行限位，球形体在容纳槽内进行旋转和摆动，球形体的上表面设置Y型的安装支架，安装支架上设置固定盘，固定盘的底部设置双向伸缩气缸，双向伸缩气缸的活塞杆端部设置F型结构的移动块，移动块的顶层设置下压气缸，移动块的二层设置气囊。本实用新型通过设置气囊能够对晶圆进行初步固定，然后采用下压气缸进行再次固定，气囊能够缓解部分压力，避免固定的过程中容易因固定力度较大对半导体晶圆造成破坏。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2019101190379 | 【发明】一种手机屏幕半成品清洗用的码放装置的清洗架 | 2025/09/25 |
| 2024225950074 | 【实用新型】一种塑胶产品加工用表面清洗装置 | 2025/09/24 |
| 2024225665520 | 【实用新型】一种建筑板材快速清洗装置 | 2025/09/18 |
| 2021230978343 | 【实用新型】一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机 | 2025/09/11 |
| 2021213372879 | 【实用新型】一种钢木家具零件加工用清洗装置 | 2025/08/29 |
| 2021217913296 | 【实用新型】一种具有防护功能的振动清洗机 | 2025/08/28 |
| 2023201647808 | 【实用新型】一种超声波清洗提升机拨鱼装置 | 2025/08/04 |
| 2019100860119 | 【发明】清洗机载料台及清洗机 | 2025/07/31 |
| 2023235029584 | 【实用新型】一种光学玻璃清洗夹具 | 2025/08/14 |
| 2024216942562 | 【实用新型】一种发电机组保养用滤清器稳定装置 | 2025/08/12 |
