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| 专利/申请号: | CN202323251942.0 | 专利名称: | 一种半导体加工冷却装置 |
| 申请日: | 2023-11-28 | 申请/专利权人 | 南通迅腾精密设备有限公司 |
| 专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省南通市开发区常兴东路1号40号厂房 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | F25D31/00 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2024-09-17 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN221724694U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 3 | 所属领域: | 半导体制造 机械冷却系统设计专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆加工中的温控场景;高精度设备散热场景
摘 要:本实用新型公开了一种半导体加工冷却装置,包括环形导轨,所述环形导轨上设置一个冷却机构和多个物料小车,所述物料小车沿着环形轨道依次进入冷却机构内进行冷却。本实用新型通过设置环形轨道、冷却机构和多个物料小车,使得物料小车装载半导体依次进入到冷却机构进行冷却,冷却完成后自动出冷却机构,而下一个物料小车继续进入到冷却机构进行冷却,从而实现自动化冷却,提高冷却效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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