发明专利 已授权

一种压电驱动装置及设备

📄 申请号:CN201910832374.2 📄 发布日:2026/06/24

著录项目信息

申请日
2019-09-04
公开号
CN110792746B
公开日
2023-07-14
申请人
鲁班嫡系机器人(深圳)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 精密定位, 光学调整, 半导体设备, 微位移平台

摘要

本发明提供一种压电驱动装置及设备。其中,压电驱动装置包括:液体回路单元、压电致动单元、阀单元及输出单元;液体回路单元,用于形成液体回路,液体回路单元包括连通的回路通道和腔室;其中,腔室内容置压电致动单元;且腔室包括进口和出口;压电致动单元,用于基于逆压电效应发生体积改变;阀单元设置在进口和/或所述出口处,使得随着体积改变驱动液体产生预设的动能;输出单元位于液体回路单元上,用于输出动能。采用本发明的技术方案,通过将压电驱动单元设置在液压腔室内,提高了驱动装置的频率和驱动力。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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F16H43_00 覆盖1个领域

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