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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202110754588.X | 专利名称: | 一种半导体激光器芯片尺寸厚度测量装置及测量方法 |
申请日: | 2021-07-05 | 申请/专利权人 | 中磁电科有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B07C5/04 分类检索 |
公开/公告日: | 2021-09-07 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN113245224B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 4 | 所属领域: | 半导体制造技术 光学测量技术 精密仪器专利转让搜索 |
应用场景:半导体激光器芯片生产过程中的尺寸与厚度检测;芯片制造质量控制;高精度光学元件测量
摘 要:本发明公开了一种半导体激光器芯片尺寸厚度测量装置及测量方法,属于半导体领域。一种半导体激光器芯片尺寸厚度测量装置,包括工作台和控制器,还包括:支撑架,固定连接在工作台上;其中,所述支撑架上固定连接有压检机构,所述压检机构上固定连接有检测盒,所述检测盒上滑动连接有检测杆,所述检测盒上固定连接有距离传感器,所述检测杆位于距离传感器的正下方,所述检测杆设置有多组且呈等距阵列在检测盒上;检测台,固定连接在工作台上;本发明使用简单,操作方便,通过对芯片进行多点检测,减少单点检测的数据不准确,提高检测的面积,方便对芯片整体的厚度和平整度进行计算,提高检测的效率和方便性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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