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一种蓝宝石粗抛光液及其制备方法

Name: 一种蓝宝石粗抛光液及其制备方法
Brand: 昆明软讯科技有限公司
SKU: 2019103209469
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910320946.9 📄 发布日：2026/05/13

著录项目信息

申请日

2019-04-21

公开号

CN110003797B

公开日

2020-11-10

申请人

昆明软讯科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C09G1_02

IPC 分类号

C09G1_02

技术画像

所属领域

抛光液抛光液化学机械抛光蓝宝石加工

应用场景

蓝宝石衬底抛光, 半导体晶片加工, 光学元件抛光, LED衬底制备, 消费电子表面处理

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摘要

本发明提供了一种蓝宝石粗抛光液，在粗抛光液中含有α‑氧化铝磨料介质、氧化剂、防腐剂、Ti离子络合剂、Fe离子络合剂、去离子水和pH调节剂，其中所述α‑氧化铝颗粒由高岭石提纯获得，所述氧化铝颗粒的纯度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、颗粒尺寸集中于0.5±0.25μm，在2‑20分钟内，对蓝宝石的平均移除量达到40‑80μm。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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