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| 专利/申请号： | CN201510153270.0 | 专利名称： | 喷水模式坩埚清洁机器人 |
| 申请日： | 2015-04-01 | 申请/专利权人 | 常州大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省常州市武进区滆湖路1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B9/28 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2015-07-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN104785478A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 34 | 所属领域： | 机器人技术 自动化设备 工业清洗 坩埚维护 半导体制造专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆生产过程中的坩埚内壁残留物清除;光伏产业多晶硅熔炼设备的定期维护;特种材料实验用高温容器的无损清洗;电子束熔融装置配套的连续化除杂作业;化工反应釜自动化表面处理
摘 要：本发明公开了喷水模式坩埚清洁机器人，涉及到烟煤自动化测试领域。包括喷水模块、转动模块、倾斜模块和设备底板；倾斜模块使得转动模块45度倾斜，转动模块带动坩埚高速旋转，喷水模块45度斜向上冲洗高速旋转的坩埚，冲洗后的废液经过漏斗流入废液盒中。本发明是一种结构合理、操作方便，采用喷水方式清洁坩埚的自动化仪器。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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