实用新型 已授权

一种氟林流体-CSE酸液自动配液机

📄 申请号:CN202322958882.X 📄 发布日:2026/07/20

著录项目信息

申请日
2023-11-02
公开号
CN221563549U
公开日
2024-08-20
申请人
华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 电子化学品生产, 工业自动化, 化工生产

摘要

本实用新型提供有一种氟林流体‑CSE酸液自动配液机,包括机体,所述机体的上方前表面安装有控制器,所述机体的内部安装有配液仓,所述配液仓的内部安装有感应控制板,所述感应控制板的上表面安装有收集桶,所述收集桶的前方安装有配液桶,所述配液仓的内侧靠近所述收集桶的外侧安装有输送管。该一种氟林流体‑CSE酸液自动配液机,在配液仓的内部设置有配液桶、收集桶和控制感应板,通过感应控制板对混合液进行准确的称重和温度等进行监控,此过程均由机器自主进行,无需人工干预,在灌装仓的内部设置由盛放桶和重量感应板,通过重量感应板来控制每次灌装的溶液重量,有效避免灌装过程中溶液溢出或未达装盛重量的问题,使得机器配比更加准确安全。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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