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专利详情
实用新型
已授权
高纯ptfe风囊泵
📄 申请号:CN202420981176.9
📄 发布日:2026/07/20
著录项目信息
申请日
2024-05-08
公开号
CN222185069U
公开日
2024-12-17
申请人
华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F04B43_06
IPC 分类号
F04B43_06
,
F04B53_10
,
F04B53_16
,
技术画像
所属领域
流体传输设备
流体传输设备
化工泵
聚四氟乙烯应用
应用场景
半导体制造, 化学品输送, 精细化工, 医药生产, 电子材料加工
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摘要
本实用新型属于风囊泵技术领域,尤其为高纯ptfe风囊泵,包括底座,所述底座的顶部安装有泵体,所述泵体的内部设置有导流腔,所述泵体侧壁开设的过孔内部安装有轴杆,所述轴杆的表面设置有两个外罗牙套,所述外罗牙套均安装在泵体上,所述轴杆的两端均插接有风囊件。本实用新型通过设置泵体、外罗牙套、左泵头、右泵头、轴杆、底座、阀座、单向阀、密封珠、接近开关和风囊件,使用此高纯ptfe风囊泵过程中,此风囊泵大部分采用ptfe制作而成,其耐强酸碱性能好,且不会对纯水或者化学药液产生任何金属污染,从而可适用于高纯化学品的循环输送,同时此风囊泵无电路和电机设计,不会出现发热的情况,因此可适用于防爆的场合。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种氟林流体-CSE酸液自动配液机
当前第 / 件
高纯pfa隔膜阀
同领域国内专利 · IPC: (F04B43_06)
F04B43_00
F04B43_02
F04B43_04
F04B43_06
F04B43_09
F04B43_12
覆盖
6
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委托待转让
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