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实用新型已授权

本实用新型公开了一种光刻板自动翻转装置，包括支撑架，所述支撑架的上表面固定连接有两个固定板，固定板的一侧活动连接有转轴，转轴的一端固定连接有下固定壳，下固定壳的一侧活动连接有上固定壳，所述支撑架的上表面设有两个滑槽，滑槽的一侧活动连接有第一滑动板和第二滑动板，第一滑动板与第二滑动板的一侧均固定连接有支撑板，支撑板与下固定壳相接触，所述支撑架的两侧固定连接有多个滑杆，滑杆的一侧分别活动连接有第一压板和第二压板。本实用新型能够对加工中的光刻板起到支撑的作用，从而解决了不能够对加工中的光刻板作稳定的问题，提高了光刻板加工的产品精度。

📄 2021200875403 📂 G03F1_00 👤 青岛市精立制版有限公司 📅 2021-01-13

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一种便于替换掩膜板的硅片载板

实用新型已授权

本实用新型提供了一种便于替换掩膜板的硅片载板，包括：板架，所述板架上阵列排布有若干个安装槽，所述安装槽内侧设有一圈用于支撑掩膜板组件的支撑部；所述掩膜板组件包括贴合于硅片两侧的上掩膜板和下掩膜板，所述板架上端面且在所述安装槽周围设有若干用于固定所述掩膜板组件的压块，所述掩膜板组件和所述压块在安装固定后，其上端面均不高于所述板架的上端面。本实用新型设置多个安装槽和压块，便于安装替换不同形状膜孔的掩膜板组件，满足实验多样性需求、提高制造效率且结构设计合理。

📄 202422564500X 📂 G03F1_00 👤 厦门市俊亦精密机械有限公司 📅 2024-10-23

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固态锂电池电解质专利包

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钙钛矿光伏组件技术

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专利交易市场

一种光刻板自动翻转装置

一种便于替换掩膜板的硅片载板

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