发明专利已授权

一种具有除尘功能的集成电路生产设备

📄 申请号：CN202411377539.9 📄 发布日：2025/10/23

著录项目信息

申请日

2024-09-30

公开号

CN119277658A

公开日

2025-01-07

申请人

江苏多氪信息科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05K3_06

IPC 分类号

H05K3_06 , B08B1_40 , B08B1_14 , B08B1_20 , B08B5_04 , B65G45_10 , H05K3_26 ,

技术画像

所属领域

生产设备集成电路制造设备半导体设备除尘技术生产设备

应用场景

集成电路制造, 半导体生产, 晶圆加工, 洁净室环境控制, 电子器件制造

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摘要

本发明公开了一种具有除尘功能的集成电路生产设备，属于集成电路生产技术领域，包括底板，底板上端连接有竖板，竖板一侧的侧壁上对称转动连接有两个转动轴，两个转动轴上共同安装有输送带，竖板上安装有用于驱使转动轴转动的转动组件，竖板上安装有用于电路板加工的蚀刻组件，竖板一侧的侧壁上连接有安装架，安装架上转动安装有转动管，转动管与转动轴之间通过皮带轮传动连接。本发明克服了现有技术的不足，通过设置输送带、转动管、海绵套、固定筒、输水管、弹簧、活塞、滑轮和凸轮等结构之间的相互配合可以对电路板进行蚀刻加工后，对电路板上遗留的蚀刻液进行自动清理，防止蚀刻液凝固，粘附在电路板上，从而，提高装置的适用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20260811

✅ 授权

20250124

?? 实质审查的生效：

20250107

📄 公开

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