实用新型已授权

一种基板抛光装置

📄 申请号：CN202321550180.1 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2023-06-18

公开号

CN220051314U

公开日

2023-11-21

申请人

苏州惠力达半导体材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B55_06 , B24B55_12 , B24B47_12 , B24B47_04 ,

技术画像

所属领域

抛光装置抛光装置机械加工设备表面处理

应用场景

半导体制造, 液晶面板制造, 精密加工

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摘要

本实用新型公开了一种基板抛光装置，包括底板、抛光盘和马达，所述底板的上表面边侧固定安装有收集筒，且收集筒的一端外壁设置有集尘机构，并且收集筒另一端的上表面固定连接有抛光仓，而且抛光仓的内壁固定连接有定位座，所述抛光仓的外壁固定安装有支架，且支架的内壁活动连接有传动杆，并且传动杆的上下两端分别固定有方杆以及副锥齿轮，所述抛光仓的上端外壁套设有盖板，且盖板的中心处内壁活动连接有驱动杆，并且盖板的端部外壁固定安装有定位臂，所述支架边侧的底板上表面固定设置有马达。该基板抛光装置提升了收集碎屑的能力，从而使得装置充分阻挡飞溅的碎屑，避免碎屑易飞溅到周围环境中造成污染。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231121

✅ 授权

一种贴片材料筛分机

当前第 / 件

一种硅片氧化层去除装置

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

B24B29_00 B24B29_02 B24B29_04 B24B29_06 B24B29_08 覆盖5个领域

¥2300.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：91 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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