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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202210548275.3 | 专利名称: | 一种节能环保型半导体晶片清洗装置 |
申请日: | 2022-05-18 | 申请/专利权人 | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省徐州市邳州经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2022-07-12 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN114743902A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种节能环保型半导体晶片清洗装置,包括:支撑底座、旋转存放机构、清洗机构和升降调节机构;支撑底座上设有固定架;旋转存放机构设于固定架与支撑底座之间,旋转存放机构包括支撑圆板,支撑圆板上安装有多个存放管,存放管上开凿有多个均匀分布的孔洞;清洗机构设于支撑底座的上方,清洗机构包括升降筒,升降筒内设有多个与存放管相匹配的存液筒。本发明通过对半导体晶片清洗装置相应机构的设置,减少清洗过程中需要消耗的各种清洗液,并且在清洗过程中将半导体晶片表面的有机物及氧化层均处理干净,提高清洗效果,而且在晶片表面产生亲水性,可避免再次发生金属污染,从而提高半导体晶片的使用寿命。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |